而在新能源汽车这条明线高歌猛进的同时,天宇集团在另一条关乎国家科技命脉的暗线上,也迎来了最关键的节点。
这条暗线,就是光刻机。
时间倒退回几个月前,当长天光学的深紫外光刻物镜、天卓精密的超精密双工作台、以及天虹激光的193nm准分子激光光源相继取得关键性突破时,许晨并没有选择让陈立峰私下带着东西去找上微电子。
光刻机是一个极其庞大且复杂的系统工程,被称为人类工业皇冠上的明珠。
它包含了几万个精密零部件,哪怕天宇把最核心的“三大件”造出来了,想要组装成一台真正能用的整机,也需要无数顶级的辅助零部件和极高的系统集成经验。
这种国之重器,仅靠一家私营企业去单打独斗是不现实的。
许晨的策略非常清晰。他让陈立峰直接带着三大件的详细测试数据,秘密拜访了南河省政府的一把手,彻底交了底。
面对这份足以捅破天的数据,南河省高层极其重视。
南河省政府直接动用最高级别的保密专线,联系了帝都方面专门负责国家光刻机重大专项的高层大佬。
不出三天,一支由多名国家级院士和半导体顶级专家组成的联合验证组,秘密飞抵郑州。
在天宇的极高保密级别实验室内,专家组对三大核心部件进行了长达一周、极其严苛的物理验证和数据核对。
当最终的验证报告摆在桌面上时,整个国家专项组的高层彻底震动了。
谁也没有想到,光刻机的核心三大件,竟然被一家做新能源汽车的民营企业,用庞大的资金和灵活的资本运作手段,在民间和官方的团队中砸出了奇迹。
物镜系统NA值达到0.85、双工作台定位精度1.5纳米、准分子激光器连续稳定输出。
这三大件,不仅完全达到了65纳米干式DUV光刻机的物理要求,甚至在某些单项指标上逼近了国际第一梯队!
验证通过后,国家机器立刻以最高效率运转了起来。
上面直接下达了最高指令,由国内唯一拥有光刻机整机集成经验的“国家队”——上微电子(SMEE)牵头,全面启动65纳米国产干式光刻机的整机制造。
国家层面全力配合。光刻机不仅仅需要三大件,还需要极其精密的流体控制阀门、高纯度气体管线、绝对减震的空气弹簧悬浮底座以及高端光刻胶的涂布设备。
经过这么多年的国家投入,国内的供应链其实并非一无是处,在很多细分领域的周边零部件上,国内企业早就已经具备了达到国际标准的能力,他们之前只是苦于没有核心三大件,造不出整机而已。
如今,核心凑齐,国家直接出手调配。全国各地最顶尖的供应链零部件,开始源源不断地汇聚到魔都张江高科技园区的上微电子总部。
在国家队的总工程师贺建国的带领下,整个上微电子进入了全封闭的攻坚状态。他们将天宇集团提供的三大件,与来自国内顶级供应链的其他零部件,进行着极其复杂的物理拼装和底层软件打通。
这一干,就是大半年。
时间回到现在,2017年8月。
郑州,天宇集团总部大楼,董事长办公室。
陈立峰将一份红色封皮的绝密文件放在了许晨的办公桌上,他的呼吸有些急促,眼神中透着难以掩饰的激动。
“许总,上面传来的消息。”陈立峰压低了声音,汇报最新的进度,“上微电子那边的整机集成,已经到了最后一步了。”
许晨翻文件的手微微一顿,抬起头看向陈立峰:“具体进度到哪了?”
“硬件的物理组装已经全部完成。”陈立峰如实汇报道,“长天的物镜、天卓的工作台、天虹的光源,以及上面调配过来的三百多个国产核心辅助系统,已经全部接驳完毕。目前,贺建国总工程师正带领团队进行最后一步的软硬件底层协议握手,以及光路的极限微调。”
陈立峰深吸了一口气:“贺总工说,这几天只要光路对齐的偏差值修正到容错区间内,就可以正式开始‘初光测试’(First Light),也就是第一次真正的晶圆曝光了。上面负责专项的大佬目前也已经在魔都坐镇了。”
许晨静静地听完,目光落在那份绝密文件上。
到了这一步,就意味着这台汇聚了华国最顶尖制造能力、承载着无数半导体人希望的65纳米干式DUV光刻机,已经是一个完整的生命体了。它现在只差最后一口气,就能真正苏醒。
“这就是临门一脚了。”许晨站起身,走到落地窗前。
“是的,一旦初光测试的数据能稳定在65纳米的线宽内,就证明整机的机械协同和光学折射没有任何问题,华国半导体设备的腰杆子,就真正挺直了。”陈立峰在一旁说道。
65nm干式DUV光刻机。
在后世那些动辄7nm、5nm甚至3nm的EUV(极紫外)光刻机面前,65nm听起来似乎有些落后。
但作为一名穿越者,许晨非常清楚,65nm干式光刻机,是华国半导体工业必须跨过去的一道天堑,也是一切高级工艺的基石!
因为物理定律决定了,193nm波长的激光,在空气中(干式)折射的物理极限,最多只能雕刻出65nm的线宽。
只要掌握了65nm干式光刻机,就意味着华国在光刻机最核心的机械控制、光学镜片研磨和光源稳定性上,真正达到了世界一流水平。
而跨过了这一步,接下来的路就清晰了。
只要在镜头和晶圆之间加入一层纯水(即浸没式光刻技术),利用水的折射率,就能把同样的193nm激光波长,等效缩短到134nm。
这样一来,这台65nm的干式光刻机,稍微一升级,就能顺理成章地变成可以制造45nm、28nm甚至通过多重曝光达到14nm工艺的浸没式DUV光刻机!
万丈高楼平地起,而这台65nm干式机,就是那块最坚固的地基。
许晨转过身,沉声说道:“订机票。不要动用集团资源,用个人的名义订两张飞魔都的票,越低调越好。明天一早,我们去上微电子。”
“明白。”陈立峰立刻点头。
整机集成的最后一步,犹如攀登珠穆朗玛峰的最后十米。许晨知道,他必须亲自去现场,见证这个属于华国工业史上的关键时刻。
......
(四章更新,各位读者大大求催更求免费的小礼物,接下来就是65nm的成功,然后到2018年就可以稳定量产,升级一下,就到45nm,2019年的时候制裁开始加大,正好能接上,基本上不会影响到天宇集团,然后光刻机搞出来就是半导体芯片的开发,也是会出一些成果的,有汽车相关也有手机相关的,看到这没有给好评的读者大大们,求一个五星好评谢谢大家!!)
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